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什么是低溫泵

瀏覽次數: 日期:2016年10月28日 11:20

  低溫泵是利用低溫(低于100K)表面冷凝和吸附氣體來獲得和保持真空的設備。它有很多優點:

  1)起始壓力高(原則上可從大氣壓開始抽氣),極限壓力低,可達10-13Pa,因此,其工作壓力范圍寬。

  2)抽速大,對于20℃空氣,最大抽速可達11.6L/s·cm2。

  3)可以抽除各種氣體,從而獲得清潔的超高真空。

  4)作為大容量的排氣系統,占地面積小,電力消耗少。

  5)有極大的靈活性,可以做成插入式,用于無法布置其他類型泵的場合。低溫泵運行時需要冷劑或制冷設備。

  低溫泵的應用范圍相當廣泛:

  1)在空間科學技術中,宇宙空間存在著真空和低溫狀態,外層空間的真空度可達10-14Pa,溫度為3K左右。因此,低溫泵是宇宙空間模擬的理想設備,為此,研究空間條件下材料表面現象,低壓空氣動力學實驗,火箭發動機高空點火試驗,空間生物技術等,都用低溫泵。

  2)應用在高能物理、等離子體和核聚變研究中。

  3)應用在薄膜制備領域。

  4)應用在微電子學,尤其是半導體微電子技術,如離子注入,離子刻蝕等。

  5)應用在近代科學儀器中,如掃描電鏡,電子衍射儀等各種表面分析儀器。

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